一、 規格明細

1.  機 型：DUC S100
2.  機 造 編 號：130000-001
3.  機身最大尺寸：L 1400 x W 1900 x H 2000 MM
4.  輸送面高度：mm
5.  機 身 材 質：Aluminum Extrusion Model、Inox(stainless steel)
6.  輸 送 速 度：0~10 m/min (速度可調)
7. 適用基板尺寸：L: 150~250 mm ; W:35~100 mm ; T:0.5~3.5 mm
8. 輸 送 方 式：Rail、Crane、Robot
9. 產 能：65 strips/hr
10. 耗 電 量：25.45KVA、總電源開關：125A
11. 出入口管徑：12Φ、16Φ
12. 排 風 量：CMM(m3/min)
13. 排氣口尺寸：4 inch x 1處
14. 電 源：220V、3 phase、60HZ
15. 總 重 量：650Kg

DUC（乾式超音波清洗）驗收標準

• 對於大於 10 μm 的原始顆粒（不包含鍵合用顆粒），清洗效率可達 97%。

• 鍵合顆粒清除方式驗證：
  針對以一般方式無法清除之顆粒，採用相同氣壓條件（10 kPa）之氣槍進行吹除測試，以驗證其清除能力。

• 對於 3 μm 間隔珠（Spacer Beads），清洗效果可達 100% 清除率。

  
  

  
  

  
  

  乾式超音波清洗系統（Dry Ultrasonic Clean System）

  • 非接觸式氣流清洗模式：
    清洗過程中不與產品表面接觸，可有效避免刮傷或表面損傷。

  • 原廠壓力／真空氣動平衡控制技術：
    透過精密的氣動平衡設計，確保清洗過程穩定且一致，提升清洗效率與製程可靠度。

    
    

    

    
    

    
    

    Infineon 認證設備：