Parts
Snow Clean
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Parts
Snow Clean
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設備規格
設備特色
產品敘述：手持式噴槍或自動化為導向，設計乾式清洗無水、無二次污染的清洗設備。
產品原理：高壓液態CO2夾雜Snow雪花顆粒的Snow Clean，清除躲藏在邊界層的Sub-micro Particle，雪花顆粒接觸其工件表面後會馬上昇華成氣CO2，且不需要再清潔。對於清洗晶圓、晶片，以及光學元件等產品有極大的幫助。
技術優勢：
- 製程環保，完全無二次污染。
- 製程中完全不需要用水。
- 省去乾燥製程，縮短製程時間。
- 減少清洗製程設備之樓地板面積。
- 對微粒的清洗效果極佳。
技術應用領域
適用之材料：各種陶瓷、玻璃、矽晶、 高分子、金屬與合金
設備與製程用元件之清洗：
真空系統用零組件，如伸縮囊、離子鏡片
Probe card針腳清洗
光學元件、LCD元件、平板顯示器、 X-ray 鏡片
硬碟讀寫頭零組件、磁/光碟片、衛星遮陽罩等
無塵室中所用之夾治具與搬運器
Si, InP, GaAs 晶圓、光罩、晶片等之微粒去除
Die Bond/Wire Bond前之微粒去除
